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體積表面電阻率試驗(yàn)儀測試精度提升的幾個(gè)措施

更新時(shí)間:2025-11-04      點(diǎn)擊次數(shù):276

體積表面電阻率試驗(yàn)儀測試精度提升的四種措施

1.改進(jìn)測試方法與夾具設(shè)計(jì)

采用三電極系統(tǒng):這是測量體積和表面電阻率的標(biāo)準(zhǔn)方法。保護(hù)電極(GuardElectrode)的作用是消除表面泄漏電流和邊緣電場對體積電阻測量的影響,同時(shí)將體積電流和表面電流分離開。確保三電極的同心度和間距加工精確至關(guān)重要。

優(yōu)化夾具與樣品接觸:

使用導(dǎo)電橡膠、蒸發(fā)金屬電極或?qū)щ娿y漿來確保電極與樣品表面緊密、均勻地接觸,避免因接觸不良引入接觸電阻。

對于硬質(zhì)材料,確保電極有適當(dāng)?shù)膲毫Γ粚τ谲涃|(zhì)材料,避免壓力過大導(dǎo)致樣品變形。

規(guī)范測試流程:

嚴(yán)格的清潔程序:樣品和電極必須用高純度溶劑(如異丙醇)和無塵布清潔,以去除污染物和靜電。

穩(wěn)定的極化時(shí)間:嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定施加電壓并等待足夠的極化(充電)時(shí)間,讓電流達(dá)到穩(wěn)定。不同材料所需時(shí)間不同,需要通過預(yù)實(shí)驗(yàn)確定。

正確的放電時(shí)間:每次測試后,必須對樣品進(jìn)行充分放電(通常短接電極),至少為上一次充電時(shí)間的1.2倍,以消除殘余電荷的影響。

2.優(yōu)化儀器參數(shù)與校準(zhǔn)

選擇合適的測試電壓:電壓過高可能導(dǎo)致樣品擊穿或產(chǎn)生非線性效應(yīng);電壓過低則信噪比差。需根據(jù)材料特性和測試標(biāo)準(zhǔn)選擇合適的電壓。有時(shí)需要進(jìn)行電壓掃描來確定線性區(qū)域。

合理設(shè)置測量時(shí)間:包括極化時(shí)間和積分時(shí)間。較長的積分時(shí)間可以有效濾除噪聲,提高讀數(shù)的穩(wěn)定性,尤其在高阻(>10^12Ω)測量時(shí)。

定期校準(zhǔn)與溯源:

定期(通常一年)將試驗(yàn)機(jī)送至國家計(jì)量院或具備資質(zhì)的第三方機(jī)構(gòu)進(jìn)行校準(zhǔn),使用覆蓋整個(gè)測量范圍的標(biāo)準(zhǔn)高阻器。

確保校準(zhǔn)證書具有可溯源性(Traceability)。

如果設(shè)備有內(nèi)部校準(zhǔn)功能,應(yīng)定期使用。

3.嚴(yán)格控制環(huán)境因素

溫濕度控制:這是最關(guān)鍵的環(huán)節(jié)之一。

溫度:電阻率通常隨溫度升高而降低。實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持恒溫,例如23±2°C。記錄每次測試時(shí)的溫度。

濕度:濕度會顯著影響表面電阻率,因?yàn)樗肿訒诓牧媳砻嫘纬蓪?dǎo)電通道。必須將相對濕度控制在嚴(yán)格范圍內(nèi),如50±5%或根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)要求。對于超高阻測量,甚至需要更低的濕度。

建議在恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行測試。

電磁屏蔽:

高阻測量極易受到外界電磁干擾(EMI/RFI)。試驗(yàn)機(jī)、測試夾具和樣品應(yīng)置于接地的金屬屏蔽箱內(nèi)。

使用高質(zhì)量的同軸電纜,并將保護(hù)端(Guard)正確連接,以屏蔽電纜的泄漏電流。

防震:將設(shè)備放置在穩(wěn)固、無振動的臺面上,避免微震動引起讀數(shù)的跳動。

4.樣品處理與制備

狀態(tài)調(diào)節(jié):測試前,樣品必須在標(biāo)準(zhǔn)溫濕度環(huán)境下(如23°C/50%RH)放置足夠長的時(shí)間(通常24小時(shí)以上),以達(dá)到吸濕平衡,確保樣品狀態(tài)的統(tǒng)一。

規(guī)格統(tǒng)一:確保所有測試樣品的厚度、尺寸、加工方式一致,以減少因樣品本身差異帶來的誤差。

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